概要

〇特定の化学物質を検出するためのデバイスの研究
共振センサーの基本構造は電界効果トランジスタ(FET)で、ゲートにカンチレバー(片持ち梁)を用いる。カンチレバーを固有振動数で振動させると、カンチレバーとチャンネル間には電圧が印加されているため電界強度がその振動数で変化し、ソース・ドレイン間を流れる電流がその周波数で変調される。

〇検出の原理
カンチレバーには特定の化学物質だけを吸着する物質を塗布しておく。ソース・ドレイン間に流れる電流は右下の図に示すように共振特性を示す。化学物質が吸着するとカンチレバーの共振周波数が変化するので、電流の共振周波数が変化する。すなわち、電流の共振周波数の変化は特定の化学物質の存在を意味し、微量物質が検出できる。

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信号処理
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